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太陽電池
太陽電池
ガス名
SiH
4
モノシラン
Silane
PH
3
ホスフィン
Phosphine
B
2
H
6
ジボラン
Diborane
TMB
トリメチルボロン
Trimethylboron
GeH
4
ゲルマン
Germane
NH
3
アンモニア
Ammonia
H
2
Se
セレン化水素
Hydrogen Selenide
NF
3
三フッ化窒素
Nitrogen Trifluoride
SF
6
六フッ化硫黄
Sulfur Hexafluoride
DEZn
ジエチル亜鉛
Diethylzinc
