大陽日酸

Electronics Gas
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シリコン半導体・液晶

CVD

ガス名
SiH4 モノシラン Silane PH3 ホスフィン Phosphine
B2H6 ジボラン Diborane SiH2Cl2 ジクロロシラン Dichlorosilane
GeH4 ゲルマン Germane Si2H6 ジシラン Disilane
SiH(CH3)3 トリメチルシラン Trimethyl Silane SiF4 四フッ化ケイ素 Silicon Tetrafluoride
WF6 六フッ化タングステン Tungsten Hexafluoride TiCl4 四塩化チタン Titanium Tetrachloride
NH3 アンモニア Ammonia N2O 亜酸化窒素 Nitrous Oxide
C3H6 プロピレン Propylene    

クリーニング・エッチング

ガス名
NF3 三フッ化窒素 Nitrogen Trifluoride CO 一酸化炭素 Carbon monoxide
C2F6 フロン-116 Hexafluoro Ethane C3F8 フロン-218 Octafluoro Propane
C4F6 ヘキサフルオロ1,3ブタジエン Hexafluoro-1,3-butadiene C4F8 フロン-C318 Octafluorocyclobutane
C5F8
オクタフルオロシクロペンテン ZFL-58
Octafluorocyclopentene CF4 フロン-14 Tetrafluoromethane
CHF3 フロン-23 Trifluoromethane COS 硫化カルボニル Carbonyl Sulfide
C2HF5 ペンタフルオロエタン Pentafluoroethane CH2F2 フロン-32 Difluoromethane
CH3F フロン-41 Methyl Fluoride ClF3 三フッ化塩素 Chlorine Trifluoride
SF6 六フッ化硫黄 Sulfur Hexafluoride Cl2 塩素 Chlorine
BCl3 三塩化ホウ素 Boron Trichloride HBr 臭化水素 Hydrogen Bromide
HCl 塩化水素 Hydrogen Chloride HF フッ化水素 Hydrogen Fluoride

イオン注入

SDS Safe Delivery Source

ガス名
SDS AsH3 アルシン Arsine SDS PH3 ホスフィン Phosphine
SDS 11BF3 三フッ化ホウ素 Boron Trifluoride SDS SiF4 四フッ化ケイ素 Silicon Tetrafluoride
SDS GeF4 四フッ化ゲルマニウム Germanium tetrafluoride SDS H2Se セレン化水素 Hydrogen Selenide
AsH3混合 アルシン混合ガス Arsine Mixtures PH3混合 ホスフィン混合ガス Phosphine Mixtures
BF3 三フッ化ホウ素 Boron Trifluoride PF3 三フッ化リン Phosphorus Trifluoride
SiF4 四フッ化ケイ素 Silicon Tetrafluoride GeF4 四フッ化ゲルマニウム Germanium Tetrafluoride