SiF4 四フッ化ケイ素Silicon Tetrafluoride
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.999 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜4.0 | vol.ppm |
| O2 | ＜0.5 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜3.0 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.1 | vol.ppm |
| SO2 | ＜0.1 | vol.ppm |
| H2S | ＜0.1 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 47ℓ： | ～10kg | JIS.W22-14L |
| 10ℓ： | ～5kg | |
| 3.4ℓ： | ～1kg | |
| 1ℓ： | ～300g | |
| 0.35ℓ： | ～100g | G1/4 19.OR |
| 高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 104.08 |
| 国連番号 UN Code | 1859 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV未設定（参考：TLV-TWA 2.5mg（F）/㎥） |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 窒息しそうな刺激臭 Suffocating Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 3.63（20℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -65℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 4.370kg/㎥（20℃, 0.1MPa） |
| 液密度 Density(Liquid) | 1.590kg/ℓ（-80℃） |
