PF3 三フッ化リンPhosphorus Trifluoride
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜3000 | vol.ppm |
| O2 | ＜200 | vol.ppm |
| HCl | ＜500 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 3.4ℓ： | ～1kg | JIS.W22-14L |
| 1ℓ： | ～300g | |
| 0.35ℓ： | ～100g | G1/4 19.OR |
| 高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 87.97 |
| 国連番号 UN Code | 1955 |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 無臭 Odorless |
| 比 重 Specific Gravity | 3.03（25℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -101.2℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 3.59kg/㎥（25℃, 0.1MPa） |
| 液密度 Density(Liquid) | 1.574kg/ℓ（-101.2℃） |
