BF3 三フッ化ホウ素Boron Trifluoride
| 製品規格（参考例） Specifications |
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| Aグレード Grade A |
Bグレード Grade B |
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| Purity | ＞99.99 | vol.％ | ＞99.8 | vol.％ |
| Impurity | ||||
| Air | ＜10 | vol.ppm | ＜1500 | vol.ppm |
| CO2 | ＜20 | vol.ppm | vol.ppm | |
| SO2 | ＜30 | vol.ppm | ＜20 | vol.ppm |
| SO4 | ＜10 | vol.ppm | ＜10 | vol.ppm |
| SiF4 | ＜30 | vol.ppm | ＜100 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 3.4ℓ： | 1000g | JIS.W22-14R/L |
| 1ℓ： | 200g | |
| 0.35ℓ： | 100g | G1/4 19.OR |
| 高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 67.82 |
| 国連番号 UN Code | 1008 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA0.1ppm |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 強い刺激臭 Pungent Suffocating Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 2.32（21℃, 0.1013MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -100.3℃ |
| ガス密度 Density（Vapor） | 2,867kg/㎥（20℃） |
| 液密度 Density（Liquid） | 1.571kg/ℓ（bp） |
