PH3混合 ホスフィン混合Phosphine Mixtures
| 製品規格 Specifications |
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| 原料ホスフィン Law PH3 |
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| Purity | ＞99.9995 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜1 | vol.ppm |
| O2 | ＜0.5 | vol.ppm |
| CO | ＜0.5 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.5 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.1 | vol.ppm |
| H2O | ＜1 | vol.ppm |
| 混合ガス Mixed Gas |
ベースガス Balance Gas |
製造濃度 Concentration |
容器 Cylinder |
充塡圧力 Pressure |
容器弁 Valve |
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| N2、Ar、He、H2 | 2ppm～50％ | 48L 47L 10L 9.4L 3.4L 1L 0.35L |
2ppm～14% 14%超～15% 15%超～20% 20％超～30％ 30％超〜50％ |
14.7MPa 11.8MPa 9.81MPa 6.9MPa 3.9MPa |
JIS.W22-14L | |
| SiH4 | 1,000ppm～50% | ～5.9MPa | G1/4 19.0R | |||
| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 34.00 |
| 国連番号 UN Code | 2199 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 0.05ppm 0.3ppm（最大許容濃度） |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 腐魚臭 Odor of Decaying Fish |
| 比 重 Specific Gravity | 1.184（25℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -87.7℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 1.4024kg/㎥（25℃） |
| 液密度 Density(Liquid) | 0.744kg/ℓ（-87.7℃） |
| 燃焼範囲 Sphere of Explosion | 1.32～98％ |
PH3混合(PH3＋N2又はAr又はHe)
ホスフィン
窒素又は
アルゴン又は
ヘリウム
PH3混合(PH3＋SiH4)
ホスフィン
モノシラン
PH3混合(PH3＋H2+Ar)
ホスフィン
水素
アルゴン
PH3混合(SiH4＋PH3)
モノシラン
ホスフィン
窒素
PH3混合(PH3＋H2＋N2)
ホスフィン
水素
窒素
PH3混合(PH3＋H2＋Ar)
ホスフィン
水素
アルゴン
PH3混合(PH3＋H2)
ホスフィン
水素