AsH3混合 アルシン混合 Arsine Mixtures
| 製品規格 Specifications |
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| 原料アルシン Law AsH3 |
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| Purity | ＞99.999 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜2.0 | vol.ppm |
| O2 | ＜1 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.5 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.5 | vol.ppm |
| H2O | ＜2.0 | vol.ppm |
| 混合ガス Mixed Gas |
ベースガス Balance Gas |
製造濃度 Concentration |
充塡圧力 Pressure |
容器 Cylinder |
容器弁 Valve |
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| N2、Ar、He、H2 | 15ppm～30％ | 15ppm～5％ 6～10％ 11～20％ 21～30％ |
14.7MPa 7.4MPa 3.9MPa 2.4MPa |
3.4ℓ／1ℓ | JIS.W22-14L | |
| 0.35ℓ | G1/4 19.0R | |||||
※1L以下は4.9MPa以下
| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 77.95 |
| 国連番号 UN Code | 2188 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 0.005ppm, 0.016mg/㎥ |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | ニンニク臭 Garlic Like Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 2.69（20℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -62.5℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 3.484kg/㎥（0℃, 0.1MPa） |
| 液密度 Density(Liquid) | 1.604kg/ℓ（-64.3℃） |
| 燃焼範囲 Sphere of Explosion | 0.8～98％ |
