AsH3混合 アルシン混合 Arsine Mixtures
| 製品規格 Specifications |
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| 原料アルシン Law AsH3 |
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| Purity | ＞99.999 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜2.0 | vol.ppm |
| O2 | ＜1 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.5 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.5 | vol.ppm |
| H2O | ＜2.0 | vol.ppm |
| 混合ガス Mixed Gas |
ベースガス Balance Gas |
製造濃度 Concentration |
容器 Pressure |
充塡圧力 Cylinder |
容器弁 Valve |
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| N2、Ar、He、H2 | 1ppm～50％ | 48L 47L 10L 9.4L 3.4L 1L 0.35L |
1ppm～5.6％ 5.6％超～10％ 10％超～20％ 20％超～30％ 30％超〜50％ |
14.7MPa 7.8MPa 3.9MPa 2.5MPa 1.5MPa |
JIS.W22-14L | ||
| G1/4 19.0R | |||||||
※1L以下は4.9MPa以下
| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 77.95 |
| 国連番号 UN Code | 2188 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | 0.01 ppm（許容濃度） 0.1ppm（最大許容濃度) |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | ニンニク臭 Garlic Like Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 2.69（20℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -62.5℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 3.243kg/㎥（20℃, 0.1013MPa） |
| 液密度 Density(Liquid) | 1.604kg/ℓ（-64.3℃） |
| 燃焼範囲 Sphere of Explosion | 0.8～98％ |
AsH3混合(AsH3＋N2又はAr又はHe)
アルシン
窒素又は
アルゴン又は
ヘリウム
AsH3混合(AsH3+H2)
アルシン
水素