SDS SiF4 四フッ化ケイ素Silicon Tetrafluoride
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.99 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜80 | vol.ppm |
| O2 | ＜20 | vol.ppm |
| 容器・ *供給量 Cylinder / Capacity |
容器弁 Valve |
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| 4X（2.25ℓ）： | 250g（650Torr±50Torr at.21℃） | 1/4" VCR |
| 7X（0.44ℓ）： | 50g（650Torr±50Torr at.21℃） | |
※供給量とは、650Torr～5Torr迄使用時の保証量。
