SDS2 PH3 ホスフィンPhosphine
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.999 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜2.0 | vol.ppm |
| O2 | ＜1 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.1 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.5 | vol.ppm |
| H2O | ＜2.0 | vol.ppm |
| 容器・ *供給量 Cylinder / Capacity |
容器弁 Valve |
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| 3X（6.6ℓ）： | 520g（650Torr±50Torr at.21℃） | 1/2" VCR |
| 4X（2.25ℓ）： | 170g（650Torr±50Torr at.21℃） | |
| 7X（0.44ℓ）： | 30g（650Torr±50Torr at.21℃） | |
※供給量とは、650～20Torr迄使用時の保証量。
