ClF3 三フッ化塩素 Chlorine Trifluoride
| 製品規格（参考例） Specifications |
||
| Purity | ＞99.9 | wt.％ |
| Impurity | ||
| N2+O2 | ＜70 | wt.ppm |
| HF | ＜700 | wt.ppm |
| Fe | ＜1 | wt.ppm |
| Ni | ＜1 | wt.ppm |
| Cr | ＜1 | wt.ppm |
| Na | ＜1 | wt.ppm |
| K | ＜1 | wt.ppm |
| Ca | ＜1 | wt.ppm |
| Cu | ＜1 | wt.ppm |
| Co | ＜1 | wt.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
|
| 40ℓ： | ～50kg | JIS.W22-14R |
| 10ℓ： | ～10kg | |
| 分子量 Molecular Weight | 92.45 |
| 国連番号 UN Code | 1749 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-C 0.1ppm |
| 外 観 Description | 常温で僅かに黄色を帯びた液体であるがガスは無色 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 刺激臭（甘い香気） Repulsive Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 1.82（20℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | 11.75℃ |
