NF3 三フッ化窒素 Nitrogen Trifluoride
| 製品規格 Specifications |
||
| Purity | ＞99.99 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜30 | vol.ppm |
| O2 | ＜10 | vol.ppm |
| CO2 | ＜10 | vol.ppm |
| CF4 | ＜40 | vol.ppm |
| N2O | ＜10 | vol.ppm |
| H2O | ＜5 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
|
| 47ℓ： | ～20kg（10.8MPa） | JIS.W22-14R/L／ DISS640 *option |
| 10ℓ： | ～3kg（8.5MPa） | |
| 高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 71.00 |
| 国連番号 UN Code | 2451 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 10ppm 29mg/㎥ |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | カビの様な臭い |
| 比 重 Specific Gravity | 2.49（21℃,1atm） |
| 沸 点 Boiling Point | -129.0℃ |
| ガス密度 Density（Vapor） | 2.96kg/㎥ （20℃） |
| 液密度 Density（Liquid） | 1.538kg/㎥ |
| 変異原性 Mutagenicity | 陽性 Positive |
