WF6 六フッ化タングステン Tungsten Hexafluoride
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.999 | wt.％ |
| Impurity | ||
| N2+O2 | ＜3.0 | wt.ppm |
| HF | ＜6.0 | wt.ppm |
| トータル金属不純物 | ＜1 | wt.ppm |
| Total Matals | ||
| Na,K,Al,Ca | ||
| Mg,Cu,Fe | ||
| U,Th,Mn | ||
| Mo,Li,Ni,Cr | ||
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 40ℓ： | ～50kg | JIS.W22-14R／ DISS638 *option |
| 10ℓ： | ～25kg | |
| 分子量 Molecular Weight | 297.84 |
| 国連番号 UN Code | 2196 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV未設定（参考：TLV-TWA 2.5mg（F）/㎥, 1mg（W）/㎥ ） |
| 外 観 Description | 黄色の液体 Yellow-Colored Liquid |
| 臭 気 Odor | 強い刺激臭 Repulsive Odorr |
| 比 重 Specific Gravity | 10（25℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | 17.5℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 12.5kg/㎥ |
| 液密度 Density(Liquid) | 3.441kg/ℓ（15℃） |
