WF6 六フッ化タングステン Tungsten Hexafluoride
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ≧ 99.9995 | wt.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ≦ 0.5 | ppm |
| O2+Ar | ≦ 0.5 | ppm |
| HF | ≦ 1 | ppm |
| CO | ≦ 0.5 | ppm |
| CO2 | ≦ 0.5 | ppm |
| SiF4 | ≦ 0.5 | ppm |
| SF6 | ≦ 0.5 | ppm |
| CF4 | ≦ 0.5 | ppm |
| THC(CH4) | ≦ 1 | ppm |
| T-CL | ≦ 0.1 | ppm |
| Al,As,B,Co,Cr,Fe,Li,Mg,Mn,Mo,Ni,Pb,Si,Ti | ≦ 10 | wt.ppb |
| Ca,Cu,K,Na | ≦ 5 | wt.ppb |
| Cd,P | ≦ 2 | wt.ppb |
| Th | ≦ 0.1 | wt.ppb |
| U | ≦ 0.05 | wt.ppb |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 40L： | ～70kg | JIS.W22-14R／ DISS638 *option |
| 10L： | ～25kg | |
| 分子量 Molecular Weight | 297.8 |
| 国連番号 UN Code | 2196 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV未設定（参考：TLV-TWA 2.5mg（F）/㎥, 1mg（W）/㎥ ） |
| 外 観 Description | 無色の液体 |
| 臭 気 Odor | 無臭（分解により、フッ化水素の刺激臭） |
| 比 重 Specific Gravity | 10.28（21.1℃、0.1013 MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | 17.3℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 12.33kg/㎥（21.1℃、0.1013MPa） |
| 液密度 Density(Liquid) | 3.39kg/ℓ（25℃） |
