大陽日酸

Electronics Gas
日本語English中文
HOME > シリコン半導体・液晶 >SiF4 四フッ化ケイ素

SiF4 四フッ化ケイ素 Silicon Tetrafluoride

製品規格
Specifications
Purity >99.999 vol.%
Impurity    
N2 <4.0 vol.ppm
O2 <0.5 vol.ppm
CO <0.1 vol.ppm
CO2 <3.0 vol.ppm
CH4 <0.1 vol.ppm
SO2 <0.1 vol.ppm
H2S <0.1 vol.ppm
容器・充填量
Cylinder/Content
容器弁
Valve
47ℓ: ~10kg JIS.W22-14L/
DISS636 *option
10ℓ: ~5kg
物性データ
高圧ガス
分子量 Molecular Weight 104.08
国連番号 UN Code 1859
許容濃度 Permissible Concentration TLV未設定
(参考:TLV-TWA 2.5mg(F)/㎥)
外 観 Description 無色の気体 Colorless Gas
臭 気 Odor 窒息性臭気もしくは刺激臭 Repulsive Odor
比 重 Specific Gravity 3.63(20℃, 0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -95.1℃
ガス密度 Density(Vapor) 4.370kg/㎥ (20℃, 0.1MPa)
液密度 Density(Liquid) 1.590kg/ℓ(-80℃)