大陽日酸

Electronics Gas
日本語English
HOME > シリコン半導体・液晶 >GeH4 ゲルマン

GeH4 ゲルマン Germane

製品規格
Specifications
Purity ≧ 99.999 vol.%
Impurity    
Ar+O2 ≦1 vol.ppm
N2 ≦2 vol.ppm
H2 ≦90 vol.ppm
CO ≦1 vol.ppm
CO2 ≦1 vol.ppm
CH4 ≦1 vol.ppm
H2O ≦0.5 vol.ppm
T-Cl ≦0.2 vol.ppm
THC ≦1 vol.ppm
He ≦300 vol.ppm
容器・充填量
Cylinder/Content
容器弁
Valve
47L: ~500g JIS.W22-14L
10L: ~100g
混合ガス
Mixed Gas
ベースガス
Balance Gas
混合ガス濃度区分(MPa) 充塡圧力
Pressure
容器弁
Valve
<1% <5% ≦10%
N2、Ar、He ≦11.8 ≦6.4 ≦4.4 5%超~10%
2%超~5%
1%超~2%
1%以下
4.4 MPa
6.4 MPa
9.81 MPa
11.8 MPa
JIS.W22-14L
H2 ≦11.8 ≦7.8 ≦5.4 5%超~10%
2%超~5%
1%超~2%
1%以下
5.4 MPa
7.8 MPa
9.81 MPa
11.8 MPa
物性データ
特殊高圧ガス
分子量 Molecular Weight 76.64
国連番号 UN Code 2192
許容濃度 Permissible Concentration TLV-TWA 0.2ppm
外 観 Description 無色の気体 Colorless Gas
臭 気 Odor 弱い刺激臭(ニンニク臭に近い)
比 重 Specific Gravity 2.645(0℃, 0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -88.4℃
ガス密度 Density(Vapor) 3.420kg/㎥ (0℃, 0.1MPa)
液密度 Density(Liquid) 1.523kg/ℓ(-142℃)