GeH4 ゲルマン Germane
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.99 | vol.％ |
| Impurity | ||
| Ar+O2 | ＜1 | vol.ppm |
| N2 | ＜2 | vol.ppm |
| H2 | ＜90 | vol.ppm |
| CO | ＜1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜2 | vol.ppm |
| CH4 | ＜1 | vol.ppm |
| H2O | ＜1 | vol.ppm |
| T-Cl | ＜1 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 47ℓ： | ～500g | JIS.W22-14L |
| 10ℓ： | ～100g | |
| ベースガス Balance Gas |
混合ガス濃度区分（MPa） | 容器弁 Valve |
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| ＜1％ | ＜5％ | ≦10％ | ||
| N2、Ar、He | ≦11.8 | ≦6.4 | ≦4.4 | JIS.W22-14L |
| H2 | ≦11.8 | ≦7.8 | ≦5.4 | |
| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 76.642 |
| 国連番号 UN Code | 2192 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 0.2ppm 0.6mg/㎥ |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 特有の刺激臭 Characteristic Pungent Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 2.645（0℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -88.4℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 3.420kg/㎥ （0℃, 0.1MPa） |
| 液密度 Density(Liquid) | 1.523kg/ℓ（-142℃） |
