SiHCl3 トリクロロシラン Trichlorosilane
| 製品規格 Specifications |
||
| Purity | ＞99.99 | wt.％ |
| Impurity | ||
| SiCl4 | ＜100 | wt.ppm |
| SiH2Cl2 | ＜100 | wt.ppm |
| SiH3Cl | ＜10 | wt.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
|
| 28.4ℓ： | 20kg | Swagelok |
| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 135.45 |
| 国連番号 UN Code | 1295 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV未設定（参考：TLV-C 2ppm 3.0mg/㎥ as HCL） |
| 外 観 Description | 無色の液体 Colorless Liquid |
| 臭 気 Odor | 刺激臭 Pungent Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 4.70 |
| 沸 点 Boiling Point | 31.8℃ |
| 液密度 Density(Liquid) | 1.3417kg/ℓ （20℃） |
| 燃焼範囲 Sphere of Explosion | 6～83vol.％ |
| 引火点 Flash Point | −27～26℃ |
| 発火点 Ignition Point | 93～104℃ |
