化学物半導体｜半導体・特殊材料ガス　大陽日酸株式会社

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化学物半導体

ガス名
AsH3 アルシン	Arsine	PH3 ホスフィン	Phosphine
NH3 アンモニア	Ammonia	TMG トリメチルガリウム	Trimethyl Gallium
TMA トリメチルアルミニウム	Trimethyl Aluminum