PH3 ホスフィン Phosphine
| 製品規格 Specifications |
||||
| ULホスフィン UL-PH3 |
S（スーパー）ホスフィン S-PH3 |
|||
| Purity | ＞99.9999 | vol.％ | ＞99.9998 | vol.％ |
| Impurity | ||||
| N2 | ＜0.5 | vol.ppm | ＜1 | vol.ppm |
| O2 | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| H2O | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| SiH4 | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.05 | vol.ppm |
| H2S | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| ※AsH3 | ＜0.5 | vol.ppm | - | |
| ※X | ＜0.001 | vol.ppm | - | |
| H.C. | - | - | ||
| GeH4 | - | - | ||
※は純度の定義より除外
| その他の製品規格 Specifications |
||||
| Purity | ＞99.9995 | vol.％ | ＞99.999 | vol.％ |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
|
| 48ℓ： | ～9kg （4.1MPa） | JIS.W22-14L |
| 9.4ℓ： | ～1.5kg （3.2MPa） | |
| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 34.00 |
| 国連番号 UN Code | 2199 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TWA 0.3ppm 0.42mg/㎥ |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 腐魚臭 Odor of Decaying Fish |
| 比 重 Specific Gravity | 1.184（25℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -87.7℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 1.4024kg/㎥ （25℃） |
| 液密度 Density(Liquid) | 0.744kg/ℓ（-87.7℃） |
| 燃焼範囲 Sphere of Explosion | 1.32～98％ |
